陳學兵剛到中芯12英寸晶圓廠,就收到任穎的短信。
「王興的事安排好了。」
他笑了笑,挺想問問怎麼安排的。
王興是能從互聯網界最殘酷的兩場競爭,千團大戰和外賣大戰裏殺出重圍奪冠的人才,光憑這一點他的能力就數不勝數,產品能力、燒錢效率、地推能力、組織能力、降本增效....
也因爲這些,名聲不太好,剋扣騎士什麼的。
但從商業的角度出發,這個人擺到那種競爭激烈的產品上絕對是個猛將。
他心裏很重視,有意培養一下,如果能當個統才,又願意留下來,可以把星聯,甚至是更遠的佈局交給他。
但現目前畢竟只是招募一個產品經理,他得習慣把這種事交給下面去做了,否則以後根本忙不過來。
眼看,又要控股第五家極爲重要的公司了。
中芯,如果達到想象中的成就,再與奇點,展訊結合起來,將是一個龐大的科技閉環。
而且現在,他漸漸感覺到這個科技鏈已經開始自啓動了,每家公司都有了源源不斷的研發動力,只要接上長征和股安建設,乃至上市,融資等一些輸血鏈條,把血管也變得粗壯起來,一顆科技心臟就要開始跳動。
有了這顆心臟,越來越多的產品便會鑄成血肉,生成巨人的形狀。
車停下,他思緒回覆之時,感覺手臂上都起了雞皮疙瘩。
興奮,甚至有點震顫。
下車,張汝京祕書在工業廠房門口等他,告知人都進了Fab(生產區)。
又是一套麻煩的流程,換了一身全包裹的衣服,風淋除塵,靜電檢測,過了三道門,才進了Fab。
講道理,陳學兵很需要這裏,卻不太喜歡來這裏。
“張總,梁總,邱總!”
陳學兵看到人打了一圈招呼。
大家穿成這樣,握手的客套也免了,好在裏面很安靜,話聲很清晰。
這還是潔淨生產區,有走道和很多區域,如果是放光刻機的超潔淨室,連呼吸聲都會很明顯。
“邱總很久沒回來了,我帶着他到咱們的新廠轉轉。”張汝京解釋道,又指了指不遠處透明玻璃的超潔淨室,“可惜啊,咱們的新光刻機還沒到。”
陳學兵看到那片仍舊空蕩蕩的區域,點點頭,有些好奇道:“新的光刻機挺大吧?周圍這麼窄,那個門也這麼小,以後來了設備怎麼進去?”
張汝京呵呵笑:“看到側面那面牆了嗎?平時是和周圍一體的,要保證潔淨度,但是有需要可以整面打開,那就是設備通道口,正上方的廠房屋頂位置也有吊裝口,打開弔裝口,用大型吊車從屋頂吊進來放在通道口,然後清
潔,除靜電,用氣墊搬運車推進去。”
“哦...”陳學兵恍然,“機關不少啊。”
張汝京不捨地看着周圍:“幾十億的廠子,刻蝕機最貴,光刻機其次,其他的清潔、監測、機械,都造價不菲,等會我給你一個名單,以後我不在,要建這樣的廠,還得依靠他們。”
陳學兵點點頭:“放心,你可以繼續在半導體行業工作,我每年會拿出一筆錢給你做人才基金會,每年不少於三個億,上海,蘇州,或是周圍幾個城市,你來定地方,除了硬件,還要培養設計人才,運營方案我會讓人給你做
規劃。”
話說着,本來在低聲聊天的梁孟松和邱慈雲也看了過來。
倆人看樣子是已經熟悉上了,陳學兵進來的時候就見他們在聊。
“陳總,你要投資這麼大,就沒想過回報,中芯這些年,過得可不容易。”邱慈雲主動搭話道。
陳學兵笑了笑:“我旗下未來的很多業務都要靠中芯來支撐,只要製程趕上去,我的很多想法就能實現了,總看樣子是同意回來了?”
邱慈雲遲疑了一下,沒回答。
“回來吧。”陳學兵溫和道:“待遇好說,錢也不是問題,訂單更不是問題,最多下個月,我會操作一筆53億的資金投進來,7.05億美元,後續資金也會源源不斷,我保證讓你們打一場富裕的仗。”
3G產業基金分紅以後有本金42億,加上ARM中國股權轉換11億,共53億。
這筆錢,完全足夠梁孟松的前期開銷了,甚至足夠支付臺積電的賠償和技術授權費。
不止是邱慈雲,張汝京和梁孟松都有些動容。
“以後中芯缺錢,找我融資就行了,股票市場上的反應你們無需再去在意,專事生產和技術研發就好。”陳學兵又補充道。
邱慈雲深吸一口氣。
天降大能於中芯,挖來了臺積電的研發核心人物,摁着臺積電給授權,妥善安置張汝京,還給這麼一句承諾。
變了,中芯真是要大變了。
又是老廠子,有感情。
還給他一個董事長職位。
他此時已經想點頭,只是強忍着幾分矜持。
陳學兵也言盡於此,給張汝京遞了個眼神。
張汝京領會,拉着慈雲去一邊:“老邱啊,以前沒有認可你的路線是我的問題,你看,季明華,周梅生,塗良山這些你的老部下,我都提拔到工程副總裁,廠長...”
倆人聊着走遠。
留下樑孟松,盯着那個空蕩蕩的超潔淨室,忽然道:“你確定下個月資金能到位,我就請張總聯繫ASML下新的訂單了,等機器到了我還要做很多改動,需要些時間,最好能一次拿三臺,定製套件會方便一些。”
“沒問題。”陳學兵篤定道。
說着,心裏又是驚歎。
這神人居然還能改ASML的新機器。
“對了,你那天說XT1900i做FinFET至少要三臺聯動,如果...ASML下一代浸沒式出來,單次曝光的製程節點更進一步,那就不需要這麼多機器了吧?”
“不能。”梁孟松打量了他一眼,道:“我已經解釋過了,需要多臺機器這是工序問題,多重曝光的原理是把一個複雜圖形拆分成多個簡單圖形,更好的光刻機只是能讓每個工序做得更快一些,提高總體產出。”
梁孟松說到這裏又再打量他,眼神裏有些疑色。
“而且XT1900i在單次曝光製程上已經很難進步,快到極限了,你不知道?”
陳學兵有點懵了。
我又不是專家,上哪知道去?
而且...這才2007年,你跟我說極限?
“不可能吧?不是聽說ASML在研究下一代嗎?”
梁孟松見他瞪眼加迷茫,這才細細解釋道:
“光刻機的精度提升,離不開一個公式,叫瑞利判據。
“計算公式爲CD=1×入/NA,CD是單次曝光的製程節點,ki是工藝因子,入是波長,NA是數值孔徑。
“需要節點CD更小,就必須減小分子,擴大分母,分子k1目前的進步十分緩慢,入波長是193nm,ARF光源,這也無法更改了。
“而分母,數值孔徑NA=nxsine,是物鏡最邊緣光線與中軸線的半角,n是介質的折射率。
“浸沒式光刻機的光介質是水,折射率比空氣大很多,約等於1.44,而這臺機器的第二代折反式光學鏡頭已經把拉到了大約70°,sin70°=0.937,NA已經達到了1.35,差不多逼近極限了。
“所以,下一代光刻機,大概率只能從套刻精度上下功夫,提升多重曝光的能力,而單次曝光CD的極限很難提升了。"
這次梁孟松講得很慢,而且很細,陳學兵邊聽邊想,仍皺眉頭。
“那個...水介質,也就是浸沒式,不是降低光源波長來提升製程嗎?怎麼變成提升NA值了?”
梁孟松的眼神和陳學兵對上,陳學兵恍惚間看到了他中午對着王興一般的無語。
不,好像還要更無語。
“你從哪學的僞科學?光源的波長進入任何物質都不會被改變,這是七年級物理課內容。”
“...我學文科的,再說我們大陸課程和你們不一樣,初二纔有物理,能搞懂乾式和浸沒式的區別就不錯了。”陳學兵強行挽尊。
“好吧。”梁孟松倒也沒有糾結,反而讚賞起來:“也是,你這樣的投資人願意瞭解這些,不多見。”
陳學兵口罩下重新微笑,心裏也逐漸清晰起來。
“那工藝因子,聽起來是和工藝相關?是各個廠家的技術決定吧?”
“對,這是很多技術決定的,拿65nm節點來說,中芯目前應該0.4-0.45之間,而臺積電能達到0.32-0.35,所以中芯的65nm節點實際線寬可能是68nm,臺積電65nm節點的實際線寬可以達到56nm,雙方同代下會有性能
差,不過這個問題你不用擔心,我會逐步調整的,而且0.25就是理論極限,想繼續逼近極限非常難,成熟節點的落差最終不會太大。”
陳學兵聽着,有了判斷。
那這個k1確實很難產生很大進步了。
波長不能變,NA接近極限。
除了通過提升套刻精度搞更多重的曝光,DUV已經難有提升了。
他這麼一想,對EUV就愈發有危機感。
EUV光源縮短十幾倍,分子不是一下就縮小了十幾倍?
“EUV...你瞭解嗎?”陳學兵試探着問道。
他之前問過張汝京同樣的問題,得到的是否定的答案。
梁孟松則遲疑了一下:“EUV?你想問什麼?”
他一時沒有思路,只能順着剛纔的話題問道:“EUV...也是靠這個公式進步嗎?”
“是,不過EUV那樣的光源,NA值達不到這麼大,首先它波長太短,在任何介質下都會被喫掉,所以傳播必須是真空,無法通過水提高折射率,連透鏡折射都不行,只能反射,所以它的目標NA值是0.33,很難提升。”
其實這個0.33還有一番算法,梁孟松也不再細講了,直接給了個答案。
陳學兵倒是聽得心裏一動:“這方面的理論知識你都清楚?”
梁孟松聳聳肩,笑道:“臺積電從去年開始把EUV加入研發路線,林本堅和Anthony Yen負責,尤其是Anthony Yen,深度參與過EUV LLC早期的研究,自帶最前沿的Know-how...比起他們,我不算瞭解。”
“能挖嗎?”陳學兵立即道。
“怎麼?你妄想做EUV?”梁孟松反笑:“你不是答應臺積電不挖他們的人。”
“我答應中芯不挖,沒說我不挖。”陳學兵哂笑:“我不動手就好了,不過,我還有一家剛成立的光刻機公司。”
梁孟松都上船了,他也不怕直說。
有些事想弄明白,恐怕也只有直說纔行。
“做光刻機?”梁孟松眯了眯眼睛,倒沒有太意外,不過隨即卻搖頭:“DUV你有機會,EUV你肯定沒機會的,是美國選中了ASML,連尼康和佳能都被排除在外,他們拿到了美國EUV全部專利技術,還有歐洲幾十家關鍵廠商
在支持,至今也才做出第一臺試驗機,離量產還不知道有多少距離,你憑什麼覺得你能行?”
陳學兵聽得揚了揚眉:“一點也沒可能?”
“一點也沒有,除非你能拿到美國Cymer的全套光源文件,然後得到德國鏡片、奧地利傳感器、荷蘭精密機械、法國光學塗層...剩下我也不太清楚了,反正幾十家廠子吧,全部的支持。”
梁孟松說到後面,已經帶着點揶揄口吻了。
陳總又換了個思路:“那...能不能挖他的人?大量那種。”
梁孟松皺了皺眉:“你還沒聽懂?它是家組裝廠,縱使是一家人類工業史上難度最高的組裝廠,它的技術人員也必須依靠全套供應鏈的支持才能做出一臺試驗機。”
“我是說...挖人,能不能阻斷它的研發進程?”陳學兵頓了一下,緩緩道:“你想,我投入了大量的經費讓你研發多重曝光,通過這種方式結合FinFET進入14nm製程,按照你的說法,要五年時間,也許還會更久,如果我們剛
做出來,EUV研發量產成功,我們是否又要基於EUV的路線,和別人站在同一起跑線研究FinFET ?”
他沒有提EUV能不能買,就這麼假設了一下。
梁孟松沉默了。
而後,語氣認真道:“我必須現在就告訴你,EUV的分辨率天生就夠做FinFET,只需曝光一次,如果EUV量產,我的FinFET技術研發積累依然會有效,但和DUV多重曝光完全不是一個難度,DUV可以說是地獄式的難度,所
以EUV一旦出現,必須放棄DUV路徑。不過....我之前不提,不是在騙你投入,而是我認爲他們在十年內都很難做出可交付的量產機,你的投入不會是無效的,一定有機會走在世界前列很長一段時間,產生的回報會對得起你的投
入。
臺積電不肯走這條路,也有這樣的擔心,但臺積電和中芯不一樣,不需要一個翻盤的機會。
對於中芯來說,走這樣的路意義就很重大。
況且對他來說,也不想放棄這樣一個金主的支持。
“我當然沒有懷疑你,我只是說...”陳學兵眼含期待,“有沒有可能拖慢他們的進度,讓這個領先的過程長一點呢?比如我剛纔說的方法。”
“挖人?”梁孟松基於自身的立場想了想,認真和陳學兵聊起這個傷天害理的話題,“大概很難吧,ASML的人才池不是孤島,是全球協作,補充人員會很快,你能挖他們多少?一百,兩百?他們很快就會補充起來。”
陳總失望了一下,隨後,惡從膽邊生。
“那如果...燒了它呢?”
梁孟松臉頰抖了抖,第一次在陳學兵面前現出了緊張,瞅了一眼張汝京那邊,低聲喝道:
“這麼幹,會被通緝的!你知道ASML對美國保密等級有多高?全世界先進光刻機停產,先進製程全部停工,特工,國際刑警都會來查!而且...機器你不想要了?沒機器我怎麼做研發?”
“哦,對。”陳總長嘆一口氣。
媽的,他不產,我也拿不到了。
失望之中,梁孟松忽地長長沉吟一聲。
“嗯...”
“其實你真想做,有個很安全的辦法。”
“嗯?”陳總眼神又亮。
梁孟松有點糾結,作爲半導體科研人員,應該以全行業進步爲追求,實在不該討論這麼傷天害理的話題。
奈何陳學兵對他的鉅額投入,又不能白費。
此時他的立場,竟與這件事捆在一起了。
“哎。”他嘆了一聲,還是說道:“像我剛纔說的那些供應鏈廠子,有的很重要,但他們很多市值低,家族控股,很容易被利誘,你不用去搞破壞,也不用要求他們對ASML斷供,只用要求他們以‘品質升級,工藝優化’這種理
由,把ASML的交貨週期拉長一半,甚至一倍,ASML的整機集成進度就會被活活拖死,而且還挑不出理,沒有任何人有理由去查。”
陳學兵愣住。
梁孟松瞥他一眼,以爲他不太滿意,又道:“動Cymer也可以,EUV光源是命門,Cymer裏面的技術路線本來就吵,你只要能收買技術評審會的人,提一些更完美,更嚴謹,更費時間”的方案,讓他們不斷推翻原型,ASML
的整機進度也會被無線拖後,這樣就沒有破壞,沒有泄密,只有“技術爭論”,幫你做事的人風險很低。”
陳總已經倒吸涼氣。
“其實按照你的優勢,在他們打算融資的時候放消息做空他們...”
梁博士還欲補充,陳學兵已經抬手。
“夠了夠了,梁博士,我已經悟了。”
陳總這一刻感覺很多事情茅塞頓開,腦子裏的思維如宇宙大爆炸一般。
腹黑指數+1+1+1+1.....
他逐漸笑了起來,抬起的手掌收攏,由衷地豎了個大拇指。
“專業。”
這個就叫專業!